Электронно-лучевая технология в изготовлении...

Main
Электронно-лучевая технология в...

Электронно-лучевая технология в изготовлении микроэлектронных приборов

Брюэр Дж. Р. (ред.)

0 / 0

0 comments

Wie gefällt Ihnen dieses Buch?

Wie ist die Qualität der Datei?

Herunterladen Sie das Buch, um Ihre Qualität zu bewerten

Wie ist die Qualität der heruntergeladenen Dateien?

Рассмотрены процессы высокоразрешающей электронно-лучевой литографии, взаимодействие электронного луча с резистом, способы изготовления фотошаблонов и переноса изображения на полупроводниковую пластину. Даны примеры электронно-лучевых установок. Определены области наиболее целесообразного применения электронно-лучевой литографии. Для широкого круга инженерно-технической работников, занимающихся проектированием и изготовлением полупроводниковых приборов и интегральных схем.

Jahr:

1984

Verlag:

Радио и связь

Sprache:

russian

Seiten:

167

Datei:

PDF, 18.97 MB

IPFS:

russian, 1984